介绍了一种基于微电子机械系统（MEMS）技术的阵列微喷的加工和实验结果。利用微细加工技术，在硅片上制作了上千个直径够5～20μm的微喷孔阵列。该微喷以压电效应为驱动方式，通过压电片振动所产生的压力使液体从微喷孔中喷出。具有所产生的液滴直径和速度分布集中，无热效应的特点。采用激光相位-多普勒粒子分析（PDPA）系统对不同工作条件下液滴的直径和速度进行了研究。

介绍了一种基于MEMS技术的雾化微喷的设计、仿真、加工和实验结果.该微喷以压电效应为驱动方式,通过压电片振动所产生的压力使液体从阵列微喷孔中喷出,所产生的液滴直径和速度分布集中,无热效应,不会破坏药液的物理和化学特性.通过有限元仿真分析了微喷液体腔内压力波的分布,并根据仿真结果优化了微喷孔的布置.实验结果表明,该微喷所产生的液滴平均直径15μm,平均速度3m/s.

给出了有限元法求解压电耦合振动的原理,利用有限元软件ANSYS对手柄振动系统进行了模态分析和谐响应分析,得到了精确的纵振动振型以及刀头的振幅、系统振幅放大系数等结果.并分析了施加的电压、压电片数和阻尼对刀头振幅的影响.利用动态信号分析仪对手柄的谐振频率进行了测试,结果与有限元计算的谐振频率非常接近.

简要介绍了可调叶片轴流泵叶轮设计安放角及变转角工况下最优工况点流量的计算方式。在零转角工况性能预测的基础上，进一步讨论了变换角工况下的性能预测。