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用于主动光学的气体力促动器设计

作者: 余正洋 李国平 来源:液压与气动 日期: 2020-05-02 人气:181
鉴于气体促动系统简单、经济并具有快速反应的特点,设计了一种用于主动光学的无摩擦线性气体力促动器结构,以及相应的高频高精度电磁比例调压阀,并做了仿真分析和实验验证,结果表明比例阀调压的气体力促动器输出力在±100N范围内精度可达O.05N,PID控制的力促动频率达到0.5Hz以上。
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