为解决传统气动技术课程所存在的教学内容单一、教学方式陈旧、实践内容较少等问题,本文提出基于学科交叉的气动技术课程综合实践教学改革思路。分析当前开展学科交叉的气动课程的可行性及意义,介绍北京航空航天大学自动化科学与电气工程学院开展的学科交叉的气动技术课程综合实践教学方法综合实践教学改革的成效。

目前众多行业需要使用无接触的方式输运清洁、易损的产品。介绍了一种完全无接触的气浮输运平台，通过在物体下方产生气膜及可控气流实现牵引输送。建立了间隙内气流简化模型并针对黏性力进行了理论和实验研究，结果表明，气流在平台表面凹槽区和边缘区域内提供牵引力，且在一定流量条件下黏性力随气膜高度增加而降低。提出了一种基于有效驱动单元列数作为被控量的控制方法，设计PID控制器并对物体在一维方向上的输运与定位进行研究．结果验证了理论模型和控制方法的有效性。

在输运过程中大型玻璃基板如发生较大变形,将会降低薄膜晶体管(TFT)阵列缺陷的检测精度。使用激光位移传感器进行大范围形变检测时效率较低,据此提出一种基于气膜压力反馈的玻璃基板形变间接检测方法。建立了包含多孔质流量特性和间隙流特性的气膜压力模型,在假设玻璃基板形变为二次曲线的前提下,基于模型分别利用单点压力和多点压力反馈的方法进行形变预测。搭建了玻璃基板形变测量装置,对形变计算结果与测量结果进行了对比分析。结果表明,多点压力反馈的方法能够更准确地预测玻璃基板的形变。