设计、制造并测试了一种新结构硅微机械压阻加速度计.器件结构是悬臂梁-质量块结构的一种变形.比较硬的主悬臂梁提供了一定的机械强度,并且提供了高谐振频率.微梁很细,检测时微梁沿轴向直拉直压.力敏电阻就扩散在微梁上,质量块很小的挠动就能在微梁上产生很大的应力,输出很大的信号.5 V条件下,灵敏度为14.80 mV/g,谐振频率为994 Hz,分别是传统结构压阻加速度计的2.487倍和2.485倍.加速度计用普通的N型硅片制造,为了刻蚀高深宽比的结构,使用了深反应离子刻蚀(DRIE)工艺.

为满足地质调查、工程勘察的需要,设计了JDD-100型地质勘查钻机电液比例液压系统。给进机构液压系统采用电液比例遥控恒压泵控技术,实现了给进力的自动控制,同时具有较好负载适应能力,高效节能。回转机构采用电液比例变量泵控技术,转速由程序自动控制,抗干扰能力强,具有较好的硬机械特性。实验表明液压系统运行情况良好,各项技术指标达到了设计要求。

为满足地质调查、工程勘察的需要,设计了JDD-100型地质勘查钻机电液比例液压系统。给进机构液压系统采用电液比例遥控恒压泵控技术,实现了给进力的自动控制,同时具有较好负载适应能力,高效节能。回转机构采用电液比例变量泵控技术,转速由程序自动控制,抗干扰能力强,具有较好的硬机械特性。实验表明液压系统运行情况良好,各项技术指标达到了设计要求。