综述了微硅加速度计的发展概况,叙述了力平衡式微硅加速度计的基本原理、国外一些厂家的研制情况和对战术级微型惯性测量装置的推动作用,提出了对发展硅微加工技术的初步想法.

叙述了当前惯导领域应用最广的力平衡式加速度计、石英振梁加速度计和单晶硅微加工加速度计发展概况,分析了它们的工作原理和结构特点.提出了在力平衡式加速度计发展较为成熟的基础上,在中高精度领域应优先开发石英振梁加速度计技术,在中低精度领域应大力发展单晶硅微加工加速度计技术.