介绍了一种用于差分电容检测前置电路的开关电路,该电路使信号易于解调而能简化信号处理电路.阐述了电路的工作原理及相关特性,在250 kHz的载波频率下,给出了Hspice仿真结果及其具体在微机械加速度计中的应用.实际结果表明:样品的灵敏度为16～25 mV/gn,非线性为0.1 %～0.5 %,满足技术要求.

通过对微加速度计时钟电路的研究，并和传统RC振荡器进行比较，提出了一种用于微加速度计的低频率抖动（Low—Jitter）的电荷泵锁相环电路．该电路包括无死区的鉴频鉴相器（PFD）、低通滤波器（LPF）、电荷泵（CP）、压控振荡器（VCO）及分频器组成．仿真验证，电荷泵锁相环电路使微加速度计系统时钟的频率抖动从0．5kHz改善为0．1kHz以下，从而提高了微加速度计的噪声性能和灵敏度．