1 原来状况 原来的非接触式电流传感器大致有3种结构模式，如图1所示。在图1中。例1所示为以霍尔元件作为磁场检测元件设置在铁芯的间隙内：例2所示为在铁芯的间隙内设置霍尔元件，而在铁芯上设置反馈线圈；例3所示为在铁芯的间隙内设置磁-光效应元件（应用法拉第效应的元件），用作磁场检测元件。

巧用光学构件形成平行光束回转，使结构简单而小型化，脉冲检测采用次摆线扫描，缩短了检测时间，利用光一次回转周期的脉冲振荡模式，能识别被测元器件的不同表面缺陷（伤痕，裂纹，裂缝等）、分布密度及其交错状态。

阿贝(Abbe)误差作为纳米计量中的主要误差之一限制着测量精度的提高,故提出了一种新型STM纳米计量仪器,采用3个微型激光干涉仪与STM联用.微型激光干涉仪用来测量探针相对于样品在3个方向上空间位移.与其它STM纳米计量仪器相比,该仪器扫描部分放弃了传统管式扫描器和三角架扫描器,将扫描分为Z向和X-Y平面扫描两部分,Z向扫描由独立的PZT驱动,X-Y扫描由两个PZT驱动的柔性平行四杆导轨完成.这种设计理论上能使Z方向上Abbe误差完全消除,X-Y方向上Abbe臂缩小到扫描范围的一半,最大50 μm,使Abbe误差减小至可忽略的程度.微型激光干涉仪的使用还消除了扫描器PZT的非线性、滞后、爬行和老化等误差.

介绍一种改良的薄膜应变片，革新前后对比表明，显著改善了元件特性，应变灵敏度系数高，电阻率高，耐热性良好。