概述了微机电系统的结构和特点，介绍了微机电系统的研究和应用领域。

以双氧水为化学发泡剂,陶粒、水泥、粉煤灰为主要原料制备了轻质多孔型陶粒混凝土,研究了双氧水、粉煤灰掺量变化对陶粒混凝土性能的影响。结果表明,双氧水、粉煤灰掺量可有效改善陶粒混凝土内部孔结构分布,从而提高其力学性能、导热系数、抗冻融能力。在水胶比0.35,陶粒、水泥、纳米CaCO_3、减水剂、稳泡剂、粉煤灰、双氧水用量分别为15%、40%、1%、0.04%、1.2%、28%～32%、6%～8%时,制备的陶粒混凝土表观密度低于1 100 kg/m^3,抗压强度高于7 MPa,抗折强度高于3MPa,导热系数低于0.26 W/(m·K),冻融循环50次后,抗压强度损失低于20%,抗压强度大于6 MPa。

在影响泡沫混凝土砌块物理和力学性能的众多因素中选出双氧水、水泥、纤维、水胶比四个主导因素进行正交试验设计,结合实际试验经验,提取不同因素的不同水平值,再根据提取的值分组进行配合比试验。将所得的试验结果进行分析,得出泡沫混凝土砌块的最佳配合比为:双氧水掺量、水泥掺量、纤维掺量、水胶比、陶粒掺量、粉煤灰替代水泥掺量、稳泡剂掺量、减水剂掺量、石膏掺量、珍珠岩及纳米CaCO_3掺量分别为8.0%、40.0%、0.05%、0.35、25%、35%、1.2%、0.04%、0.05%、3%、0.8%。

文章通过改变液压检测设备的流量,讨论了不同流量对检测设备的稳定性的影响。从而为生产企业找出产品是否合格提供参考和帮助。