微机电系统被普遍认为是一项面向２１世纪的可以广泛应用的新兴技术，作为其应用的微型仪器，具有传统仪器无可比似的优势。从微型仪器入手，分别介绍了其概念，特点和市场应用，并在最后阐述了对微型仪器的几点认识。

近年来,MEMS产业发展迅速.据著名的国际MEMS咨询机构约尔公司(Yole)分析, 2005年全球基于硅和石英器件的MEMS市场高达50亿美元,预计2010年将达到100亿美元(如图1所示).其产品主要包括:喷墨打印头、光MEMS(主要是数字微镜器件)、压力传感器、惯性传感器、微流控器件、RFMEMS、硅麦克风及微型燃料电池.其中硅麦克风和微型燃料电池为新出现的产品(如图2所示).

设计了一种基于静电悬浮原理的微机械加速度计。它采用三明治结构的微敏感元件，电容式位移检测方案及静电力悬浮控制方案。着重对敏感元件的主要结构设计、参数的选取、支承静电力的计算以及量程极限、精度极限等问题进行了分析，表明在目前技术条件下，可以实现量程约5g，精度为10^-5g的悬浮微加速度计。设计并加工出一种圆环形结构的敏感元件，已实现了Z轴方向的静电悬浮及加速度测量，证明设计方案是可行的，进一步研究可实现三轴悬浮加速度计。