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关于断裂力学基本问题的一个新解

作者: 曹茂盛 王彪 来源:哈尔滨工程大学学报 日期: 2023-12-20 人气:5
关于断裂力学基本问题的一个新解
利用新的方法研究了断裂力学的一个基本问题,即利用Schmidt方法重新求解了Lowengrub研究的条状物体中的一个裂纹问题,这一解适用于任意厚度的条状物中的裂纹问题,从而拓展了Lowengrub解的适应范围。

用于压电悬臂梁的PZT厚膜的溶胶-凝胶制备及表征

作者: 刘红梅 赵全亮 段中夏 邱成军 曹茂盛 来源:哈尔滨工业大学学报 日期: 2022-09-27 人气:5
用于压电悬臂梁的PZT厚膜的溶胶-凝胶制备及表征
研究了一种用于制备硅基压电悬臂梁的PZT厚膜溶胶-凝胶工艺.该工艺通过采用交替旋涂法,将PZT溶胶与PZT纳米粉混合形成浆料,再和澄清PZT溶胶交替涂覆在Au/Cr/SiO2/Si的硅基悬臂梁结构上,当达到所需的厚度后再进行热处理.实验证明,热处理温度在650℃,处理时间15 min时,XRD结构表征显示PZT厚膜获得钙钛矿相结构,SEM中厚膜断面清晰,表面紧密、均匀、平整.铁电性能测试表明矫顽场为50kV/cm,饱和极化强度为54μC/cm^2,剩余极化强度为30μC/cm^2.同时,硅基悬臂梁结构采用典型的半导体光刻工艺,利用BHF/HCl溶液成功地刻蚀了PZT厚膜,并运用微机械加工技术刻蚀出硅悬臂梁结构.
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