相移误差是影响干涉显微镜测量表面形貌精度的主要因素之一，介绍了四帧算法，五帧算法，四帧免疫算法，五帧免疫算法的原理和计算公式，并对其特点进行了分析比较，利用自行研制的带旋转检偏器的干涉显微测量系统，分别用四种算法对Ra=0.35μm和Ra=0.09μm粗糙度样块进行了实测，结果表明，五帧算法的重复测量精度优于0.5nm，五帧免疫算法的重复测量精度优于0.3nm，同时对在普通干涉显微镜上进一步提高其测量精度做了初步探讨。

法-珀干涉仪有较高的分辨率,但是由于受到激光器模间隔的限制,测量范围较小。介绍了使用换模锁定法对其进行扩展,实现了具有较大测量范围及纳米分辨率和测量精度的法-珀干涉仪,扩展了法-珀干涉仪的测量范围。

微分干涉相衬显微测量术在生物医学、材料科学等领域中有广泛应用,其中偏振分光棱镜设计是关键技术之一.对应用于微分干涉相衬显微系统中的偏振分光棱镜Nomarski棱镜的主要参数之间的关系进行分析,并做了设计计算,得出了一些有实用价值的结论,使Noma rski棱镜的设计更简便,有利于促进微分干涉相衬显微测量术在我国的推广应用.

用透射式微分干涉法测量光纤内部折射率分布，其原理是利用旋转检偏器对测量光束进行调制，从相位分布和光程分布中计算出折射率分布。其中，从光程分布中解算出折射率分布的算法是关键。讨论了该算法的数学模型，推导了测量公式，并对算法的稳定性和误差进行了分析。利用自行研制的系统对渐变折射率分布光纤进行实测，与在NR-9200光纤测量仪上的结果进行了比较，对主要误差源进行了分析和计算机模拟。实测和模拟计算结果表明，该算法原理正确，系统稳定，测量精度优于10^-3，完全可以用来测量光纤折射率分布。