提出一种带有杠杆机构的电容检测微型加速度计。通过外来加速度使质量块经杠杆将力放大施加到弹性粱上产生位移、改变检测电容间距得到与加速度成比例的电压信号，从而测出加速度大小。研究表明：这种加速度计的灵敏度可明显提高。同时采用有限元方法进行了仿真模拟，结果显示系统测量范围可达100g、工作模态固有频率为209036Hz。

提出一种用于检测微位移的新型电涡流传感器。该传感器中，两层微平面线圈叠加在坡莫合金铁芯上，分别作为驱动元件与敏感元件。详细给出了微平面线圈的SU-8胶UV—LIGA工艺与磁性铁芯的电铸成形工艺。当激励电流为50kHz的正弦交流信号，而且检测Ni-Fe片与铁芯间隙为10μm时，敏感线圈的输出电压达30mV，并且间隙值在50μm范围内与输出电压接近为线性关系。传感器尺寸为φ5mm×1．6mm，易于集成，能实现对微位移的检测。

提出一种基于谐振原理、电容检测的微型加速度计。通过外加加速度使质量块经杠杆将力放大施加到谐振器上，改变谐振梁上的轴向应力，从而改变谐振梁的振动频率。研究表明这种加速度计的测量范围达66g。同时采用有限元法进行了仿真模拟，结果显示传感器灵敏度约18Hz／g，工作模态固有频率为625．981kH。

针对制造车间中不同类型的设备具有不同的通信协议和接口所造成的车间通信标准不统一的问题,基于MTConnect协议为不同设备的互联互通提供了统一的通信接口,并应用于对设备的联网监控。对数控机床无线监控技术与MTConnect协议进行了研究,在分析了如何基于MTConnect协议进行设备描述、数据采集、联网监控的基础上,构建了一种基于MTConnect协议的机床远程多功能监控系统,对数控机床的CNC系统、机床能耗和机床颤振等进行监测。监控系统采用C/S架构,服务端采用C#语言实现并嵌入开放式数控系统,客户端采用Java开发了移动端的安卓应用程序,可以在便携式的移动端(手机或平板)上查看机床的实时监控数据。通过实际加工对该监控系统进行了试验测试,结果表明,该监控系统能够实时获取机床的监控数据,可以在便携式的移动端上对机床的运行状况进行有效的监...