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调制比对磁控溅射法生长DLC/WSx多层膜微结构和力学性能的影响

作者: 郑晓华 林玲玲 常新新 王贡启 杨芳儿 来源:中国有色金属学报 日期: 2020-11-27 人气:137
调制比对磁控溅射法生长DLC/WSx多层膜微结构和力学性能的影响
采用磁控溅射法在200℃Si(100)基体上交替沉积WSx和类金刚石碳膜(DLC)制备不同调制比的DLC/WSx多层膜(周期为10nm)。利用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子谱(XPS)等手段分析调制比对多层膜成分、微观结构及界面的影响。利用薄膜应力测试仪、纳米压痕仪、涂层附着力划痕仪和球盘式摩擦磨损试验机等测试多层膜的力学性能及大气中的摩擦磨损性能。结果表明:DLC/WSx多层膜结构致密而平整,界面强化效应明显,膜中WSx均为非晶结构。随着调制比增大,多层膜的n(S)/n(W)由0.77增大至1.08,硬度先降低后升高,膜内压应力逐渐减小,结合力先增大后减小,摩擦因数由0.307降至0.171,磨损率逐渐上升。调制比为1:39的多层膜性能最优,硬度可达11.4GPa,磨损率低至1.17×10^15m3N^-1m^-1,显著优于纯WSx薄膜的。

清淤泵的水力设计与内流特性

作者: 林玲玲 张玉良 项英杰 张鹏辉 符益民 来源:机械工程师 日期: 2020-09-10 人气:167
清淤泵的水力设计与内流特性
目前我国河道污染极其严重,利用清淤泵完成水力治淤是定期治理河道的有效方法之一。文中首先根据速度系数法,并结合设计经验完成了一台低比转速清淤泵的水力设计计算,获得了各个过流部件的几何参数。在此基础上,采用ASMM模型对清淤泵内部的固液两相流进行了数值计算分析,获得了初步的内部三维流动特征。该研究结果将为后续进一步优化清淤泵提供很好的依据。
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