一种兆赫频超声抛光振子的设计与研究
版权信息:站内文章仅供学习与参考,如触及到您的版权信息,请与本站联系。
信息
资料大小
1.94 MB
文件类型
PDF
语言
简体中文
资料等级
☆☆☆☆☆
下载次数
简介
在声波透射与折射基本理论的基础上,设计制作了匹配层压电换能器结构的兆声抛光振子,提高了兆赫频超声抛光工具的声能量辐射效率。此外,通过对兆声压电振子的振动模式进行控制,消除了高频圆片型压电振子本身存在的强烈的耦合振动效应。在制作完成兆声抛光振子的基础上,对抛光振子工作端的振动振幅进行了测试,在横向尺度上满足了兆声抛光工具头振动振幅均匀化的求。实现了一种用于硅片化学机械抛光的兆声抛光振子。为大尺寸硅片的化学机械抛光工艺提供了可借鉴的附加技术手段。相关论文
- 2020-08-22基于PLC的铁钻工电气系统设计
- 2020-11-01十字型薄壁倒扣零件的数控加工工艺
- 2020-09-18一款汽车发动机活塞数控铣削工艺
- 2020-10-27立车横梁装配工艺改进
- 2021-05-17PTFE悬浮树脂的加工和应用
请自觉遵守互联网相关的政策法规,严禁发布色情、暴力、反动的言论。