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精密孔径测量仪计量检定方法研究

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1.34 MB
文件类型
PDF
语言
简体中文
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简介

精密孔径测量仪是一台以长光栅为标准,利用光电瞄准技术进行非接触绝对测量的高精度测长仪器;主要用于测量内孔直径,还可以用于测量轴径、两平行平面距离及玻璃尺刻线间距等。文中主要研究测量范围为(0~200) mm,分辨力为0.1μm的精密孔径测量仪的检定方法。
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