负压驱动蠕动微型泵的研究进展

简介

基于负压驱动原理研制了一种结构简单的蠕动微型泵。微型泵由3层聚二甲基硅氧烷（PDMS）材料，构成气路层、驱动薄膜层和流路层，其全部结构均采用激光器加工制作而成，并通过表面等离子体氧化处理技术实现了各PDMS层之间的键合封装。该微型泵具有流速高、回流低、气泡耐受能力强，以及不伤害传送介质的特点。尤为重要的是，连接负压源的气路层通过PDMS薄膜能有效去除流路中的气泡，这是处理复杂流体样品时所期望的。通过对比前期微型泵的气路通道的流阻、常闭微阀的个数、负压压力和驱动频率等各项参数，获得了其性能参数。在50kPa负压和30Hz驱动频率的条件下，获得的最佳流速为600μL／min，这一流速参数可与正压气动型蠕动泵的流动性能相媲美。