简谐电压激励下静电谐波微电机的响应分析

简介

提出了一种基于静电驱动的新型谐波微电机,描述了该微电机的基本工作原理。给出了微电机中静电场力的静态分量、动态分量和简谐电压激励下的载荷。将受迫振动的位移解表示为柔轮自由振动振型的级数形式,进而把按照Donnell壳理论建立的控制微分方程予以化简。利用壳体振型的正交性,确定了简谐电压激励下系统的动态响应,并总结了其规律。最后,分析了系统在电压激励下的共振特性,以及随主要系统参数的变化规律。