碳纤维增强碳化硅陶瓷基（Cf／SiC）复合材料是一种应用普遍的纤维增强陶瓷基复合材料。针对Cf／SiC复合材料复杂曲面难加工问题提出了超声振动锉削加工方法，建立数学模型分析其加工机理，设计可行性试验验证表明超声振动锉削相对于传统锉削加工方法，可以降低锉削力，提高加工表面质量。利用单因素试验研究了刀具粒度、超声功率、径向锉削深度及水平进给速度对锉削力和被加工件表面粗糙度的影响。结果表明：锉削力随超声振动功率的增大而减小，随锉削深度和进给速度的增加而增大，与理论模型推导结论吻合；超声振动功率的增加可以提高工件表面质量，而锉削深度和进给速度的增加则会降低表面质量。