为消除目前手工设计掩膜和工艺流程的繁琐过程,提出了一种从表面硅微器件的三维结构模型自动生成掩膜和工艺流程的方法.该方法将三维器件模型作为输入,根据其组成特征的几何信息和材料信息识别出基底层、结构层、牺牲层和金属层等所有工艺层,再根据工艺层的结构特点和材料信息自动生成掩膜和工艺流程,并利用SolidWorks软件用户接口开发的应用程序验证了方法的可行性.应用实例表明,该方法不仅可以使设计者专注于器件结构本身的设计,而且易于实现掩膜和工艺流程的自动化生成,比传统的手工设计方法更加直观、高效,为相应的设计工具开发提供了理论分析和实验验证.

提出了一种利用矩形域最小二乘曲面拟合的方法与MATLAB软件结合生成液压泵和液压马达CAT技术中等值(等效率或等功率)曲线族的方法.此方法充分利用了MATLAB所具有的生成各类曲面和曲线的功能优势使得工况点在试验域内允许无次序和无规划地任意采集因此可以大大简便操作避免换算误差.同时分析了所提出方法的误差并通过实例证实了该方法的可行性和正确性.