随着现代微机械加工技术的发展,微小流量的精确控制在检测高速气缸的精确定位和速度控制等方面已经变得越来越重要。该文设计了一种静电驱动的二位二通的微型开关阀,通过数值模拟对该阀进行性能分析,得到进出口气压差为10 kPa时流过该阀的空气流量为6 mL/min,同时基于压力补偿原理提出了一种可以降低静电驱动电压的微型开关阀。