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多晶硅纳米薄膜牺牲层压力敏感结构设计

作者: 揣荣岩 崔林 王健 刘本伟 郑雁公 李新 来源:仪表技术与传感器 日期: 2023-05-27 人气:27
多晶硅纳米薄膜牺牲层压力敏感结构设计
为使多晶硅纳米薄膜良好的压阻特性在MEMS(微机电系统)压阻传感器中得到有效应用,在设计牺牲层结构压力传感器芯片中探索性地采用了多晶硅纳米薄膜作为应变电阻,并给出这种传感器的设计方法。分析了牺牲层结构弹性膜片的应力分布对传感器灵敏度的影响,优化设计了量程为0—0.2MPa多晶硅纳米膜压力传感器芯片的结构参数。有限元法仿真结果表明:在保证传感器灵敏度大于50mV/(MPa·V)的前提下,零点温漂系数可小于1×10^-3FS/℃;灵敏度温漂(无电路补偿)可小于1×10^-1FS/℃.为高灵敏、低温漂、低成本的高温压力传感器集成化发展提供了一条可行途径。

高密度聚乙烯装置轴流泵机械密封安全性和长周期运行探讨

作者: 崔钟续 张旭亮 王志辉 刘传云 应汶静 来源:石油化工设备 日期: 2021-08-27 人气:90
高密度聚乙烯装置轴流泵机械密封安全性和长周期运行探讨
轴流泵是环管反应器高密度聚乙烯(HDPE)装置的核心设备,其运行状况直接影响整个装置。轴流泵机械密封结构复杂而且密封腔压力高,介质具有危险性,选用安全、可靠的密封冲洗方案尤为重要。某HDPE装置轴流泵试车过程中出现了机械密封温度偏高、高压气囊意外磨损以及机械密封泄漏等情况,对存在问题逐项进行了排查分析。要保证轴流泵安全长周期运行,除确保机械密封的安全性外,在轴流泵安装初期把握好对中基准、焊接质量控制、弹簧调节等关键质量点,首次试车前进行全面检查同样十分重要。

蒸汽消防管网蝶阀辅助密封故障诊断与分析

作者: 李建军 来源:机械工程师 日期: 2020-10-04 人气:122
蒸汽消防管网蝶阀辅助密封故障诊断与分析
针对蒸汽消防管网蝶阀填料密封存在泄漏的现象,从辅助密封的结构设计,组装、制造专业工具等方面进行分析;经过改造蝶阀密封实现设备不再泄漏,为蝶阀、滑阀的密封改造提供有价值的参考。
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