表面织构在摩擦学、热能交换以及生物医学等许多领域发挥重要作用,其中微坑阵列是常用的表面织构。为了能在金属表面制造出微坑织构,对掩膜电解加工微坑阵列的文献进行了研究与分析,在分析了射流掩膜电解加工技术的基础上,提出使用一种扫描射流掩膜电解加工的方法,利用光刻胶做掩膜,成功地在不锈钢上加工出海量微坑阵列。设计实验,探究了电压、扫描速度对微坑尺寸、深径比、侧蚀系数和一致性的影响规律。最后,优选实验参数,用加工电压30V、描速度2mm/s加工出22500个微坑阵列。

以普通光学成像透镜取代显微物镜,以针孔阵列(500×500)取代单针孔,实现了全场并行共焦测量.在数据处理上,采用了内插值三维重构算法,以及二次曲面拟合的系统误差校正算法,可以在较大的采样间距下获取较高的测量精度.实验表明,系统的最大横向测量范围为5 mm×5 mm,横向测量精度约为13 μm,纵向测量精度约为5 μm,因此可大大提高测量视场及测量速度.

斜轮微调机构是刀调仪上的一个关键部件。该部件的装配质量直接影响刀调仪测量刀具参数的准确度和重复性。斜轮微调机构在实际的装配中出现了无法实现微米级移动、锁紧力不够和气动启动后刮蹭微调杆的问题。通过反复的试验总结出斜轮微调机构的装配方法与技巧,成功地解决了上述问题。