图像识别技术广泛应用于人脸识别、计算机视觉、机器人等许多领域。与目前的光栅位移传感器和激光干涉仪相比,用图像识别的检测方法更方便、更低成本及更智能。为了实现新型纵向微位移机构水平方向运动的补偿,文中通过图像识别的方法,结合电子显微镜的拍摄和S-EYE软件的标记,搭建了微位移补偿的检测装置,通过TC5520V可编程运动控制器对机构移动数值转换脉冲数值,构成纵向微位移补偿的闭环控制系统,改善了机械传动式微位移机构精度。