为解决半导体生产系统作业调度问题,提出了一种基于层次赋时着色Petri网(HTCPN)与多代理系统(MAS)的调度系统建模与仿真方法。以半导体“图案成型”生产系统为对象,分析该系统调度问题的约束条件和多目标函数,设计MAS的组织结构和基于招标-投标策略的调度机制,结合HTCPN建模方法建立调度系统模型,最后采用仿真软件CPN Tools验证了该调度系统的可行性和有效性。