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> 波面恢复
目标函数拼接技术精度研究
作者:
刘军
来源:
安徽建筑
日期: 2022-08-31
人气:6492
在较大孔径放大系数(〉4)的情况下,结合实验结果,从拼接模式、被测面形、测量误差和不同孔径放大系数的角度出发,分析了各种因素对目标函数拼接技术精度的影响,为高精度检测和控制大口径光学元件表面面形(波前)提供了依据。
关键词:
波面恢复
子孔径
多孔径扫描技术
目标函数
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