根据空间应用项目需求，采用等离子辅助电子束蒸发方法对RB—SiC基底进行了表面改性，并对表面改性的性能和可靠性进行了相关评估．经测试，改性后RB—SiC基底表面粗糙度（rms）降低到0．632nm；散射系数降低到2．81％，500～1000nm范围的平均反射率提高到97．05％，已经接近于抛光良好的微晶玻璃的水平；改性涂层温度稳定性高，与基底结合牢固；加工后，面形精度达到0．1192（PV）和0．0142（rms），λ=632．8nm．评估结果表明，这种SiC基底表面改性的工艺是可靠的，其光学性能满足空间高质量光学系统的要求，适宜空间环境应用．