结合移相式干涉仪主动抗振技术,提出对普通PZT光学移相器进行机械结构的优化,改善其机械响应性能并保证有足够的位移量.作为机电反馈式干涉仪抗振系统的核心部件,改进后的PZT构件用于干涉仪的移相驱动,同时又用作光学相位调制器和振动补偿器.经移相干涉仪的在线测量,PZT移相器达到了1 000 Hz(振动幅度为λ/2)以上的时间响应速度并获得了6 μm左右的位移量,满足了干涉抗振系统的需要.

以压电陶瓷（PZT）微位移器为主要研究对象，引入一种处理静态干涉图的新方法——虚光栅移相叠栅条纹法，设计实验对一台实际使用的移相器微位移旋转误差进行测试研究，对其引起的波面旋转情况进行了定量的计算分析，并给出测试结果．用虚光栅移相叠栅条纹法处理实验中加有载频的干涉图时，不需要使用任何移相器件，可以进行动态位相的检测，整个移相过程用计算机进行控制，避免了引入额外的移相误差．

环境振动严重影响移相干涉测量的过程。在运用光学外差法测得移相干涉仪环境振动信号的前提下，设计了采用高速DSP芯片的振动控制器，它对电压形式的振动信号进行采样，用自适应LMS算法分析振动信号，同时输出反馈控制信号。反馈控制信号驱动PZT光学移相器对振动引起的光程差（或波前相位）变化进行实时补偿。通过这种闭环控制，系统能够对幅频积小于100waves^＊Hz的环境振动进行有效补偿，实验中获得了稳定的移相干涉条纹，保证了光学测试的正确性。