冲击载荷强迫微加速度计的敏感质量大大偏离平衡位置,使差动静电力发生器的非线性效应体现出来,其结果是使正常工作时敏感质量仅在平衡位置附近有微小位移的状况下成立的负反馈闭环系统模型不再适用,敏感质量的受控特性可能变为正反馈,从而使微加速度计失效。为提高微加速度计受外界大载荷冲击后的可靠性,分析了加速度计的敏感质量在不同限制的静电反馈力下的受控特性及对应的闭环系统特性,推导了在已知止挡机械参数下确定微加速度计相应电气参数从而避免此类失效的防吸合准则。多次的验证实验表明,按防吸合准则设计了系统参数的静电力反馈加速度计,在受到远超过其本身量程的载荷冲击后,可以100%地防止吸合现象的出现。

静电力反馈微加速度计的敏感质量与固定结构部分因静电力作用发生吸合失效，严重影响加速度计的可靠性。为根本解决吸合问题，分析了加速度计在开环、闭环的不同工作状态下发生吸合的机理，推导出由静电力、机械刚度和止挡间隙等参数确定的3个稳定条件，用于判断吸合是否发生。实验证明了稳定条件是正确的。工程实际中，3个稳定条件可以指导此类加速度计的可靠性设计，通过选择合理的机械及电气参数，可以完全避免发生吸合失效。