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> 鲁棒H∞控制理论
光学超精密仪器隔振系统的鲁棒H∞控制系统仿真分析
作者:
陆振宇
朱日宏
肖冬荣
来源:
仪器仪表学报
日期: 2022-12-12
人气:9
针对光学超精密仪器隔振系统的不确定性,采用被动隔振和主动隔振相结合的混合控制技术,其中主动隔振采用鲁棒H∞控制策略,该方法克服了由模型和干扰所引起的不确定性,使得控制系统能够有效地抑制模型的非线性和振动的干扰.仿真结果表明,光学超精密仪器在振动的干扰下具有较好的鲁棒稳定性和控制精度.
关键词:
鲁棒H∞控制理论
光学超精密仪器
主动振动控制
隔振系统
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