扫描电子显微镜（以下简称“扫描电镜”）是一种被广泛应用于材料微区形貌分析和微小尺寸测量的仪器设备。我国早在1988年就发布了JJG550—1988（（扫描电子显微镜（试行）》检定规程，1996年教委又专门发布了JJG（教委）010—1996（（分析型扫描电子显微镜》检定规程。开展扫描电镜的检定或校准工作，需要借助标准物质，其中包括分辨力标准物质、测长标准物质和化学成分标准物质。特别是测长标准物质，

SPM是在纳米尺度上进行测量的重要的测量仪器之一,随着SPM进入工业测量领域,SPM的校准、量值溯源和测量不确定度分析已经成为SPM能够作为计量仪器使用的关键所在.文章论述了一种计量型原子力显微镜的构成、校准以及在国际比对中的应用.

详细描述了系统的构成。实验结果表明，所设计研制的光纤传感测量系统能很好地实现复杂轮廓表面形状的检测问题。测量系统的稳定性优于0．15％，高度分辨力优于0．4μm，定位测量的重复性达到±3μm，由于在传感头端部采用了自聚焦透镜技术，使该传感器有较高的横向分辨力，能有效地实现对微小复杂形状尺寸的扫描检测。将系统用于螺纹型面的检测，测量结果与用万能工具显微镜的检测结果比对，证明了本测量系统的实用性和方法和正确性。