介绍了一种基于半闭环控制的三坐标测量机的测量原理.主要研究了测量运动控制系统和数据处理系统在平面测量时的相关问题.

本文分析了利用相位偏移干涉的相位计算方法对测量结果准确程度的影响，提出了一种利用相位偏移干涉原理测量波面的新算法(四幅改进算法)。考虑到移相误差是导致相位偏移干涉测量法产生误差的主要因素，本文着重讨论相位偏移干涉测量算法对移相误差的敏感程度。根据对实验测试机构所进行的测量与分析，以实际的数据为基础得出在相位偏移干涉测量中新算法的优秀品质。该新算法对移相误差有良好的抑制作用，无论是理论分析还是实际测量效果都很好。