论述了透射式特征X射线测厚原理,并对样机的硬件组成特征X射线发生装置、X射线探测器、数据处理器和监控软件进行了介绍。通过对测厚样机的实验测试,结果显示测量较薄物质时测厚仪反应灵敏,测量精度较高,相对误差在±5%以内,达到设计要求。

介绍了特征X射线的测厚原理、测厚系统组成及数据处理方法，并利用铜和铁的特征X射线对纸张厚度进行了实验研究；当被测量纸张的厚度从7．2mg／cm^2到43．2mg／cm^2时dm与ln I曲线的相关系数达到0．999以上，测量相对误差在2％以内。

介绍了用特征X射线自动测试纸张厚度的计算机测量系统的基本构成、系统功能.并用C＋＋builder设计了软件系统.系统读取硬件传送过来的计数值,应用最小二乘法拟合,计算出物质厚度的变化情况以及进行一系列数据处理等.

随着科学技术的发展进步,人们不断需要从更高的微观层次观察、认识周围的物质世界.细胞、微生物等微米尺度的物体直接用肉眼观察不到,显微镜的发明解决了这个问题.目前,纳米科技成为研究热点,集成电路工艺加工的特征尺度进入深亚微米,所有这些更加微小的物体光学显微镜也观察不到,必须使用电子显微镜.电子显微镜可分为扫描电子显微镜简称扫描电镜(SEM)和透射电子显微镜简称透射电镜(TEM)两大类.