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静电梳微谐振子结构中的静力学问题

作者: 宋晓珏 丁晓红 来源:机械设计与研究 日期: 2024-10-11 人气:3
静电梳微谐振子结构中的静力学问题
本文针对微机械领域中常用的静电梳微谐振子中存在的静力学问题 ,对其悬臂梁的两种结构——蟹脚型结构和直脚型结构的受力情况作了分析 ,推导出应力和位移的计算方法 ,并对蟹脚型结构的设计进行了优化 ,和国外文献进行了相比 ,它们更符合实际情况
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