ＣＡＤ／ＣＡＥ技术在ＭＥＭＳ研究过程中具有非常重要的作用。本文首先介绍了用于ＭＥＭＳ的ＣＡＤ／ＣＡＥ技术特点，然后研究了ＭＥＭＳ ＣＡＤ／ＣＡＥ系统结构，给出了软件支持工具结构框图，指明了解决其中关键技术的途径。ＣＡＤ／ＣＡＥ技术的应用，将提高微型机电系统的设计质量，缩短研制周期，使之及早走向工业化。

讨论了纳米加工与常规精加工的区别,介绍了纳米加工的关键技术及其在微型机械和微型机电系统的应用.

介绍一种新的原子发射光谱微型电感耦合等离子体（ICP）激发源,阐述这种激发源的结构、性能及其在光谱仪中的应用,它与平面结构的微型Fabry-Perot光谱仪联用可以作为微型气体分析仪使用。并简要介绍作者研制的在较低的13.56MHz下工作的微型ICP激发源。展望随着MEMS技术的发展,微型光谱仪的应用前景。