深度卡尺用于测量孔深及台阶高度，测量时尺身的量面与工件表面接触，因此要求尺身量面具有均匀稳定的高硬度和耐磨性。原处理工艺是将深度卡尺尺身量面放置在缝式感应器角部的块状导磁体上加热，每次只处理1件。采用断续加热，加热3s停止1s，第2次加热3s停止1s，再次加热3s后淬火。

计量型原子力显微镜纳米测量系统主要由扫描器、测针位置传感器和一体化微型激光干涉三维测量系统等部分构成．针对计量型原子力显微测量系统，采用三维激光干涉测量系统作为测量基准，以实现原子力测量系统的纳米尺度量值溯源和校准工作．建立了校准模型，分析了扫描器9项主要误差项，并将该模型应用到原子力显微镜扫描器的校准中．校准后的结果表明，除z轴位置误差不超过±2nm外，其他8项的残余误差均不超过±1nm．通过台阶高度国际比对，建立了台阶高度标准计算方法及不确定度分析模型．台阶高度国际比对的测量结果表明，计量型原子力显微镜的测量值与参考值相差均小于1．5nm．