Ｘ射线衍射仪是目前纳米检测中最为行之有效的一种方法，对纳米技术的发展有着重要的意义。但是，目前由于受其驱动器性能的影响，在应用推广上还受到一定的限制。针对这一问题，文章提出采用超磁致伸缩材料，研制的驱动器具有位移量大、分辨率高、结构简单等特点，将其应用于Ｘ射线衍射仪中，将对其发展起着极大的推动作用。

介绍了一种基于光杠杆原理的光学微位移测量系统。该系统的理论分辨力为4nm，实验测得系统分辨力小于10nm。经过实验，验证了该系统的可行性。实验结果表明，该装置灵敏度及重复性好，结构简单，便于构成微电子机械系统——MEMS（micro electro mechanical systems），实现系统微型化及自动化。

设计了一种IPC-208B型原子力显微镜大范围扫描的三维镜体结构,原子力显微镜通过该结构中的步进驱动系统、压电陶瓷扫描器、微悬臂探针及其调节装置共同实现探针针尖的精确位移控制与扫描检测,该镜体采用样本扫描设置突破了压电陶瓷对扫描范围的限制,可使扫描范围达25mm×25mm,采用装配该三维驱动系统的原子力显微镜进行了云母以及聚酰胺检测实验,实验结果表明,所设计的IPC-208B型大范围扫描三维驱动系统检测精度可达到0.1nm,能够实现纳米级检测扫描,该设计提高了AFM检测实验的可操作性和效率,降低了实验成本。