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GlobalScan-I激光扫描显微镜系统用于设计边缘和失效定位

作者: CredenceSystemsCorporation 来源:半导体技术 日期: 2023-08-24 人气:13
GlobalScan-I激光扫描显微镜系统用于设计边缘和失效定位
介绍 集成器件制造商试图清晰的区别制造问题和设计错误.物理错误-阻性过孔、金属层间短路等等问题通常属于制造问题.非物理错误-时序问题、逻辑错误等等问题通常是设计队伍的问题.之所以要清晰的定义这两类责任是因为业界将工作分为制造和设计.随着晶体管物理尺寸不断缩小工艺的变化性使设计和制造问题的区分更为困难.成品率问题尤其是那些与速度、电压或温度敏感性相关的问题可能并不是加工错误或设计缺陷直接导致的,但是不可否认设计的某些领域正面临比预期更大的工艺不确定性.这种"软缺陷"几乎不可能在投产前的验证中为其建立模型,却可能导致致命的成品率降低.
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