导致电学计量检定和测量中的系统误差的因素多而复杂。本文归纳列举了这些误差因素及产生的原因。一个优秀的电学计量检定员或质检员应该全面了解和把握这些影响因素，以防止检定或测量结果出现不应有的系统误差。

针对目前MEMS微加速度计机械和电路仿真各自脱节的现状，基于PSPICE软件，综合了敏感质量块机械、偏置电压静电力和接15／电路3部分，提出了机械与电学一体化仿真模型。模型实现了敏感质量块大位移情形仿真，突破了已有仿真模型对该质量块的中点小位移近似。利用该模型，得到大位移情况下加速度计能承受的最大阶跃和脉冲加速度信号值，经过与经典理论公式比较，误差小于3％。进一步，通过在不同偏置电压开环模式下灵敏度仿真与实验值的比较，当敏感质量块处于小位移状态时，误差小于5％；处于大位移状态，小于10％。因此，仿真模型与经典理论公式以及实验值比较接近，可应用于微加速度计的仿真和物理过程再现，从而有助于该类微机械电子器件的进一步研究。