纳米计量不仅提供测量和表征纳米材料及器件基础,同时在纳米生产工艺控制和质量管理领域也扮演重要角色.纳米技术就某种意义上讲就是实现原子或分子操作的超精细加工技术.纳米科技的各个领域都涉及对纳米尺度物质的形态、成分、结构及其物理/化学性能(功能)的测量、表征.纳米测量在纳米科技中起着信息采集和分析的不可替代的重要作用.纳米测量技术包括纳米级精度的尺寸和位移的测量,纳米级表面形貌的测量以及纳米级物理与化学特性测量.目前迫切需要解决的问题有微电子、超精密加工中线宽、台阶、膜厚等测量问题、纳米材料中的粒子特征测量问题和作为纳米科技主要测量和操作工具的扫描探针显微镜(SPM)、扫描电子显微镜(SEM)等的特性表征和测量准确度评定.文章重点评述了国际上为建立可溯源于国际基本单位制(SI)的纳米计量体系努...

上世纪90年代初兴起的纳米科技是在纳米尺度上（1nm到100nm之间）研究物质（包括原子、分子的操纵）的特性和相互作用，以及利用这些特性的多学科交叉的科学和技术。纳米测试技术是纳米材料和材料纳米性能研究与发展的重要基础。

研究在光学显微镜下,运用两个独立的三维工作台分别控制针尖和碳纳米管的位置,将碳纳米管吸附在传统的原子力显微镜针尖上.首先将碳纳米管粘附在导电的胶带上,然后用涂胶的针尖与其接触将碳纳米管粘附到针尖上,最后运用电蚀的方法优化碳纳米管针尖的长度,以达到高分辨率的要求.运用制作的碳纳米管针尖对硅表面的深槽进行成像,获得了传统针尖无法得到的信息.

介绍了扫描隧道显微技术(STM)在材料表面进行原子和原子簇的纳米尺度操纵的操纵机制和实际的应用.