利用应变梯度弹性理论,对微尺寸圆杆扭转的静动态特性进行了研究,分析了偶应力对微杆扭转的静态应力和自振频率的影响.当圆杆的半径接近于材料的特征常数时,其扭转静动态特性存在明显的尺度效应,使静态最大剪应力减小,动态自振频率提高.

美国波士顿大学的Jan Smith博士着手有关微泵和谐振式硅结构的研究。此后，与微机械有关的结构和器件的研究正在迅速增加。目前，在MESA研究所中，大约有25人从事有关微机械的研究。正在研究中的器件有流体控制器、流量传感器、液体混合器、谐振式加速度或压力传感器，微型机器人用的活动关节、微定位器、小型扩音器、眼压计以及扫描探测显傲镜等。

<正> 1.前言微机械包括微结构、微致动器、微传感器、微控制、组装、系统设计、微加工以及微能量等方面的技术.本文介绍带运动的信息仪器,利用微机械技术迅速发展的旧信息仪器以及新出现的信息仪器.2.带运动的信息仪器用于信息系统的仪器在具有输入输出接

<正> 微系统工程将成为21世纪的关键技术,由于微电子学加工方法的不断发展,有可能使电子学功能、光学和机械功能组合为综合的微系统。1.微型装配的必要性微系统工程的一个重要特点,在于它是通过各种不同功能的集成,制成专门应用的、型号多变的产品。因此,除个别情况外,其生产一般都限于少量或中等量的件数。为了使产品的成本降低且有市场竞争力,应尽可能由大批量生产的标准元件装配而成。

描述了自行研制的小载荷下滑动往复摩擦测试平台的工作原理.所设计的测力传感器能同时测定正压力和摩擦力,其悬臂由一组相互垂直的平行弹性钢片组成,其解耦特性经有限元软件ANSYS得到证明.采用虚拟仪器技术在PC机上实现了力信号的采集、分析与显示.标定及实测使用表明,该测试平台具有较高的测量精度和分辨力,适合小载荷 (mN)下材料的摩擦性能测试.

微机械是一门新兴的技术,微机器人是机器人研究领域里的一个重要方向.本文阐述了微机械和微机器人的发展现状及在一些领域中的应用,介绍了国内外最新研究成果及相关技术的发展.

微系统工程的开发中，主要难题是制作极其微小的元件以及它们的装配。其中，夹持工艺起着决定性的作用，因为使用通常的技术，可能会损坏这些微小的结构。最近，夫琅 霍费生产技术与自动化研究所研制出一种用于微系统的粘附钳手，用酒精作为粘附液。

近年来，以使用半导体制造工艺的微小机械的研究为开端，世界各国积极开展微机械的研究。但是各国各有特点，美国以大学为中心开展以静电微电机为代表的硅微机械的基础研究。欧州以法国为中心利用LIGA工艺技术积极进行微传感器和执行机构的开发工作。日本大学，国家研究机构和企业也在积极进行微机械的研究。

设计一种电磁驱动的微机械结构，实现自准直仪双坐标光电信号的自动跟踪，采用跟踪与读数分离的方法，提高仪器的测量精度。经实际测试和使用表明，设计方案合理，稳定可靠，双坐标工作范围为－100″－＋100″，仪器具有绝对零点，分辨力0．1″，非线性误差小于0．5″。

简要介绍微机电系统中的微机械加工技术,主要包括硅表面微加工技术、硅体微加工技术、光刻及电铸和复制技术(LIGA)、准LIGA技术和快速成型技术等,并综述了这些技术的研究进展情况.