提出在非扫描工作方式下获得二维分布的多个点目标辐射谱的方法.该方法与其他成像光谱技术最显著的区别在于其光学系统的设计及数字微镜的使用.通过数字微镜进行目标选通,并经过特殊设计的柱面透镜阵列将二维分布的多个目标变换成一维分布,结合光谱仪的使用实现多目标光谱的同时测量,提高了系统信噪比.在可见光波段进行了实验,结果表明该方法是可行的.

为了提高移相点衍射干涉仪对193nm投影光刻系统的检测精度，本文对其主要测量误差进行了探讨。在简要介绍了193nm移相点衍射干涉仪的基本结构和测量原理之后，总结了可能对测量结果产生影响的各种误差及其产生的原因。通过理论分析和数值模拟的方法分别对参考波前误差、相移误差、探测器非线性误差以及光源波动、环境变化引起的随机误差等进行了具体分析，从而得到各种测量误差的大小、存在形式以及与干涉仪结构参数的依赖关系，并提出了相应的避免或减小误差的方法。

利用双通道可调Fabry-Perot干涉仪作为机载测风激光雷达系统的鉴频器。该鉴频器可以克服现有测风雷达测速范围小的缺点,能够根据相对风速变化调整干涉仪的腔长,从而达到调整干涉仪透射谱中心频率的目的,从而间接实现测速范围动态可调,扩大测速范围的目的。采用此鉴频器可以实时测量飞行器与大气的相对风速。文中详述了测速原理和鉴频器结构,并给出机载雷达的系统参数,分析了系统的测量误差,结果表明：探测累积时间1s,测速范围为0～1000m/s时,探测高度可达30km,系统测量误差小于5m/s。

阐述了消杂光的遮光罩和挡光环的设计原理和思想，并基于自行推导的设计公式，提出利用程序计算来实现遮光罩一挡光环四种不同组合（圆柱状且挡光环等高布置、圆柱状且挡光环梯度布置、锥状且挡光环等高布置和锥状且挡光环梯度布置的遮光罩）的设计思想，并给出了设计实例以验证设计公式程序的正确性（与手工计算相比）。结果表明，在任意给定的挡光环个数和高度范围内，通过该设计程序可获得一系列遮光罩的长度和内径参数，再通过杂光仿真软件模拟，根据PST值可确定遮光罩的最佳参数。

研究和设计了测量波长范围在10(m(120(m的远红外光谱仪,它以光栅作为分光元件,利用光栅的衍射特性测量自由电子激光的光谱分布,给出了实用化的测量公式,并对光谱仪进行了标定和测试实验.