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关键词文章列表
> 等厚干涉仪
平晶平面度综合测量方法探讨
作者:
宫美望
来源:
计量与测试技术
日期: 2023-11-01
人气:59
在JJG28-2000平晶检定规程中,对平晶有效直径d范围内的平面度和(2/3)d范围内的平面度均有规定的要求。本文将对此问题进行分析,最后给出了符合现行规程要求的新测量方法,补充了计算公式。
关键词:
等厚干涉仪
有效直径
平晶
平面度
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