为了降低成本,拓展隧道加速度计的应用,作者设计了一种隧道加速度计.对器件进行体硅工艺研究,结果为隧尖尺寸为0.02 μm×0.02 μm,隧道电流为1.14 nA～4.68 nA.

针对隧道效应对位移具有极高灵敏度的特点,设计了一种隧道式硅微加速度计.在介绍其结构和工作原理的基础上,提出了一种新的加工工艺,由该工艺制作的第一批器件成功地观测到隧道效应.