提出了一种新型二维超精密微步进工作台的结构形式,并针对该结构设计了相应的微步进执行器.以新型功能材料Piezo作为驱动元件,分析了微步进执行器的机电耦合模型,在此基础上对其时间响应进行了分析,总结了时间响应的影响因素,同时提出了相应的解决方法.

为了研究大变形柔性铰链的转角特性，设计并实现了一种基于MSP430系统的转角特性测试仪，通过旋转编码器测量大变形柔性铰链的转角，并提供等空间采样触发脉冲，由MSP430单片机构成数据采集系统，最后通过上位机软件进行数据处理并得到大变形柔性铰链的转角特性的实验结果。