基于有限元的虚拟坐标测量机方法是预测并补偿快速探测动态误差的有效手段,坐标测量机的有限元模型是分析计算的基础.以一种桥式坐标测量机为例,介绍了以3轴位置参数驱动,自动建立其相应有限元模型的方法,可自动进行前处理,显著提高有限元分析过程的工作效率.