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具有45°全内反射耦合镜聚合物波导的制作和性能测试

作者: 张飒飒 王青圃 张行愚 刘兆军 连洁 李岚 陈佳琦 王丽 陈瑞曾 来源:光电子.激光 日期: 2022-05-30 人气:4
具有45°全内反射耦合镜聚合物波导的制作和性能测试
提出了在印刷电路板(PCB)上实现全嵌入光互联(FEOI)的方法,采用软成型技术(微转移成型)制作了具有45°微反射镜的聚合物波导,这种技术可以用PDMS弹性模板把特征尺寸大于几nm的图案转移到衬底上。在波长为850nm时,测量的多模波导传播损耗为0.16dB/cm,45°镀Ag微反射镜的耦合效率测得为92%。具有高品质45°微反射镜、低损耗和热稳定好的铸模聚合物波导,为高速全嵌入板级光互联提供了一个低成本的解决方案。
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