在器件结构上结合了温差式和风速计式两种检测原理,设计并制造了一种新型结构的MEMS热式流量计。在对温差式流量计的灵敏度、量程等特性进行了有限元仿真的基础上,优化设计了器件结构。同时,提出了一种利用Matlab/Simu-link时域仿真实现热源控制电路设计的方法。采用MEMS微加工技术研制了新型结构的热式流量计。测试结果表明该新设计比传统MEMS热式流量计灵敏度提高近4倍。

针对基于模型定义的数据信息＂多、杂、乱＂,信息获取不准确、不清晰等难题,通过对数据进行类型划分、对数据元素进行解析及有效分类管理,开发了可视化的三维标注＂筛选器＂,对保存视图、图层、标注类型等内容进行筛选显示,实现多维度、细颗粒度的数据识别与控制,进而提高基于模型定义的数据可视化效果。