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> 杨敬涵
串联臂压电微电机驱动机理的研究
作者:
梁克平
邵培革
杨敬涵
王立鼎
来源:
中国机械工程
日期: 2022-09-16
人气:18
二级串联压电双晶片(串联臂)一端固定时,在特定的电信号控制下,自由端将沿椭圆轨迹运动.以串联臂为驱动元件,可用来驱动端面与其相接触的转子转动,构成串联臂压电微电机.研究了串联弯曲臂压电微电机的工作原理,设想了串联臂压电微电机的结构.
关键词:
压电微电机
串联弯曲臂
工作原理
结构
MEMS
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