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> 张华中
范德华力对硅基微悬臂梁抗粘附稳定性的影响
作者:
张建
丁建宁
王权
张华中
来源:
机械强度
日期: 2022-10-25
人气:14
通过在硅微悬臂梁与基底表面上涂覆低表面能的憎水性OTS(CH3(CH2)17SiCl3)膜,以除去接触面间的表面张力;把梁与基底均接地,以除去接触面间的静电力,研究仅有范德华力作用时,硅微悬臂梁结构的抗粘附稳定性。根据两接触面均为粗糙表面的微观实际接触模型,在接触表面产生塑性变形的情况下,计算范德华粘附能大小,并分析表面形貌对其影响,得到粗糙表面接触的微梁抗粘附临界长度。
关键词:
微纳器件
范德华力
粘附
稳定性
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