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回转轴运动精度的干涉测量与误差补偿分析

作者: 张立新 黄玉美 杨心刚 江国炎 来源:传感技术学报 日期: 2023-11-24 人气:33
回转轴运动精度的干涉测量与误差补偿分析
采用激光干涉仪检测混联数控机床回转轴的运动精度,达到对其综合评价的目的,为机床的运动精度误差补偿做准备.对雷尼绍激光干涉仪的结构和角度测量原理进行了详细探讨,分析了干涉仪在回转轴运动精度测量中的主要影响因素和误差诱因;作出了角度测量中正弦近似误差特性曲线,并提出了该测量误差的数学模型;讨论了激光波长补偿的机理,提出了一种通用、简便易行的回转轴角位移精度检测方法.
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