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回转轴运动精度的干涉测量与误差补偿分析
作者:
张立新
黄玉美
杨心刚
江国炎
来源:
传感技术学报
日期: 2023-11-24
人气:33
采用激光干涉仪检测混联数控机床回转轴的运动精度,达到对其综合评价的目的,为机床的运动精度误差补偿做准备.对雷尼绍激光干涉仪的结构和角度测量原理进行了详细探讨,分析了干涉仪在回转轴运动精度测量中的主要影响因素和误差诱因;作出了角度测量中正弦近似误差特性曲线,并提出了该测量误差的数学模型;讨论了激光波长补偿的机理,提出了一种通用、简便易行的回转轴角位移精度检测方法.
关键词:
计量学
激光
混联机床
干涉测量
精度
补偿
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